造粒燃燒合成氮化硅的生產(chǎn)方法
2021-07-06
本發(fā)明主要適用于β－氮化硅的燃燒合成。采用燃燒合成工藝或自蔓延高溫合成工藝制備氮化硅粉末。本發(fā)明的技術(shù)特點(diǎn)是把工業(yè)原料硅粉與氮化硅稀釋劑的混合料磨細(xì)至10μm以下，用2%～8%PVA水溶液造粒，然后采用常規(guī)燃燒合成工藝合成氮化硅及破碎至亞微米級(jí)粉末。采用本發(fā)明工藝時(shí)，能使細(xì)粒硅粉得到充分的氮化，并縮短了合成時(shí)間40%～60％。合成后氮化硅中游離硅低，同時(shí)也保證了高的氮?dú)鉂B透率及合成工藝的穩(wěn)定性，提高了產(chǎn)品的合格率。
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